www.viniti.ru Всероссийский Институт Научной и Технической Информации
 

База данных PEIS-V больше не обновляется с 1 июня 2018г.

The PEIS-V database is no longer updated from June 1, 2018


Physics Electronic Information Service by VINITI

PEIS-V | Help

Высокопрозрачные свободновисящие пленки для защиты маски от загрязнений в установках проекционной ЭУФ-литографии

Б. А. Володин, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, А. Ю. Лукьянов, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Л. А. Шмаенок

Изв. РАН. Сер. физ., vol: 78, num: 1, 82-85, published: 01 January 2014,


   Nuclear reactor physics.
      Nuclear power. Reliability and safety problems. Engineering problems.
         General problems.
            Conferences, symposia, schools.

   Nuclear reactor physics.
      Nuclear power. Reliability and safety problems. Engineering problems.
         General problems.
            International collaboration and trade.

   Nuclear reactor physics.
      Nuclear power. Reliability and safety problems. Engineering problems.
         Nuclear energy and radiation utilization. Description and parameters of reactors, nuclear power stations and other nuclear installations.
            Radiation utilization in technological processes. Radio-nuclide tools.

Link